Püskürtme Kaplama Cihazı (Magnetron Sputtering)

• Sistem tüm metal, oksit ve nitrür (örneğin; Ni,Fe,Au,Zr,Ti,Si,SiO2, ZnO,TiO2,Si3N4,SiC) ve yarı iletken malzemeleri sputtering yöntemi ile ardışık katmanlar olarak kaplayabilmektedir,
• 4” (100mm) numuneyi en az 500°C’ye homojen bir şekilde ısıtabilmektedir,
• Vakum düzeyi 2×10-7 Torr seviyesinde uygulanabilmektedir.
• 1500W su soğutma gücüne sahiptir.
• 0.01 A/s kaplama hızı ölçebilme özelliği bulunmaktadır.
• 1 adet, 2″ RF Magnetron “flexhead”, ve 1 Adet, 2” DC Magnetron “flexhead” sputerring kaynağı ve 2 adet termal buharlaştırma kaynağına sahiptir.