Fotolitografi Sistemi

MicroWriter ML3

  • 1µm çözünürlüklü litografi çalışmaları destekler,
  • 4” wafer boyutunu desteklemektedir,
  • Hizalama (Alignment) için sarı ışık aydınlatması bulunan yüksek kaliteli optik mikroskop,
  • 3 boyutlu modelleme için gri tonlamalı poz modu,
  • 405nm dalga boyunda bir laser ışık kaynağı (385nm takılabilir)
  • CIF, BMP, TIFF format desteğine sahiptir.