MicroWriter ML3
- 1µm çözünürlüklü litografi çalışmaları destekler,
- 4” wafer boyutunu desteklemektedir,
- Hizalama (Alignment) için sarı ışık aydınlatması bulunan yüksek kaliteli optik mikroskop,
- 3 boyutlu modelleme için gri tonlamalı poz modu,
- 405nm dalga boyunda bir laser ışık kaynağı (385nm takılabilir)
- CIF, BMP, TIFF format desteğine sahiptir.