Kompakt, Esnek , Güçlü 
Sensofar S Lynx

S Lynx, endüstride ve araştırmada kullanılmak üzere tasarlanmış temassız 3D yüzey profili okuma cihazıdır. Kompakt ve çok yönlü bir sistem olarak tasarlanan sistem saniyeler içinde yüzey profil bilgilerini önünüze sunar. S Lynx’in çok yönlülüğü, onu çok çeşitli uygulamalar için kabul görmüş ölçüm cihazları arasına sokmaktadır. Laboratuvarımızda bulunan bu cihazın 3 farklı ölçüm tekniği vardır; Konfokal, Interferometri ve Odak Varyasyonu

Konfokal(Confocal)
Konfokal profil okuyucu, pürüzsüz veya pürüzlü yüzeyleri ölçmek için geliştirilmiştir. Konfokal profil haritası, optik profil oluşturucular tarafından elde edilebilecek en yüksek yanal çözünürlüğü sağlar. Uzaysal örnekleme, kritik boyut ölçümleri için ideal olan 0,01 μm’ye düşürülebilir. Yüksek NA (0,95) ve büyütme (bizim sistemimiz için 50X) , 70°’nin üzerindeki dik yerel eğimlere sahip düz yüzeyleri ölçmek için mevcuttur.(86°’ye kadar pürüzlü yüzeyler için).

Interferometri(Interferometry)
Beyaz ışık ile dikey tarama interferometrisi (VSI), topografi veya şeffaf film yapısı gibi yüzey özelliklerini ölçmek için yaygın olarak kullanılan ve güçlü bir tekniktir. Pürüzsüz ve orta derecede pürüzlü yüzeyleri ölçmek için en uygun olanıdır ve hedefin NA veya büyütmesinden bağımsız olarak nanometre düzeyinde ölçüm hassasiyeti sağlanır.

Odak Varyasyonu(Focus Variation)
Focus Variation, büyük pürüzlü yüzeylerin şeklini ölçmek için geliştirilmiş bir optik teknolojidir. Bu teknoloji, Sensofar’ın birleşik konfokal ve interferometrik 3D ölçümler alanındaki kapsamlı uzmanlığına dayanmaktadır ve özellikle düşük büyütmede konfokal ölçümleri tamamlamak için tasarlanmıştır. Teknolojinin öne çıkan özellikleri arasında yüksek eğimli yüzeyler (86°’ye kadar), en yüksek ölçüm hızları (mm/sn) ve geniş dikey ölçüm aralığı bulunur.